真（zhēn）空室規格　　　mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  極（jí）限壓力　　　　Pa

1×10^-3

  工作壓力　　　　Pa

2×10^-2

  恢複真空（kōng）時間　　min

≤10 （從大氣至2×10^-2Pa）

  壓升（shēng）率　　　　　Pa/h

≤0.3

  離子轟擊源　　　KVA

4

4

12

20

  蒸發源Ⅰ　　　　KVA

15

20

25

40

  蒸發源Ⅱ　　　　KVA

15

20

27/18

45

  蒸鍍材料

Al和SiO₂/MgO₂

  工件轉動方式

公轉加自轉（無級調速（sù））

  工件自轉軸數

6

10

  控製方式

PLC

PLC/PLC+計算（suàn）機

  冷卻水（shuǐ）量　　　　m³/h

5

5

7

9

  總功率　  KW　　　　　

～60

～85

～120

～200

  真空（kōng）室規格　　　mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  極限壓力　　　　Pa

1×10^-3

  工作（zuò）壓力　　　　Pa

2×10^-2

  恢複真空時間　　min

≤10 （從大氣至2×10^-2Pa）

  壓升率　　　　　Pa/h

≤0.3

  離子轟擊（jī）源　　　KVA

4

4

12

20

  蒸發（fā）源Ⅰ　　　　KVA

15

20

25

40

  蒸發源Ⅱ　　　　KVA

15

20

27/18

45

  蒸鍍材料

Al和SiO₂/MgO₂

  工件轉（zhuǎn）動方式

公轉加（jiā）自轉（無級調速）

  工件自轉軸數

6

10

  控製方式

PLC

PLC/PLC+計算機

  冷卻水量　　　　m³/h

5

5

7

9

  總功（gōng）率　  KW　　　　　

～60

～85

～120

～200