極限真空度　　　Pa

5.0×10^-4 （清潔、幹燥（zào）、空載）

  恢複真空時間　　Pa

18（從大氣～10^-2Pa）

  基（jī）材（cái）

PET、PVC、PE等

  有效鍍幅（fú）　　　　mm

800

1200

2000

  最（zuì）大卷徑　　　　mm

Φ350～Φ600

  鍍膜速度　　　m/min

0.5～10

  磁控（kòng）靶數（shù）目（mù） 　 　隻

3～5

  靶材　　　　

ITO、鋁、銅、鎳、鈦、二氧化（huà）矽等

  濺（jiàn）射壓力　　　　Pa

1～0.1

  濺射電壓　　　　V

300～600（D.C或MF）

  工作氣體

Ar、 O₂純度99.99%

  氣體流量控製方式

質量流量控製器（qì）